液壓機構(gòu)的主要漏油部位有：三通閥和放油閥、高低壓油管、壓力表和壓力繼電器接頭以及工作缸活塞桿和貯壓筒活塞桿的密封受損處、低壓油箱的砂眼處等。SF6斷路器本體的漏氣部位有：支柱驅(qū)動桿和密封圈劃傷處、充氣閥密封不良處、支柱瓷套根部有裂紋處、法蘭聯(lián)接處、滅弧室頂蓋有砂眼處、三聯(lián)箱蓋板、氣體管路接頭、密度繼電器接口、二次壓力表接頭、焊縫和密封槽與密封圈（墊）尺寸不配合等處。GIS的漏氣部位有：隔室、絕緣子、O型密封圈、開關(guān)絕緣桿、互感器二次線端子、箱板連接點、氣室母管、附件砂眼處和氣室伸縮節(jié)接口等處。

    SF6氣體泄漏造成后果：對液壓機構(gòu)，漏油會引起短時頻繁啟泵打壓或補壓時間過長，閥體大量內(nèi)滲油會造成失壓故障，液壓油進入儲壓筒氮氣側(cè)會造成壓力異常升高等，這會影響SF6斷路器運行。對于SF6斷路器和GIS，雖然泄漏到大氣中的SF6濃度很低，但它在大氣中有很長的殘存期，并能吸收紅外輻射而產(chǎn)生溫室效應(yīng)。此外頻繁補氣和SF6氣體的大量泄漏，會影響設(shè)備的正常運行。

    目前國內(nèi)外研究出了ZYU-XL500 SF6氣體泄漏在線監(jiān)測系統(tǒng)，對此SF6監(jiān)測主要采用了電化學技術(shù)、電擊穿技術(shù)和超聲波技術(shù)，在定量SF6氣體在線報警系統(tǒng)開發(fā)過程中，對三種測試技術(shù)分別作了測試和分析，總結(jié)出了每種測試技術(shù)的優(yōu)缺點和應(yīng)用面。

    1、電化學技術(shù)：原理是被檢測氣體接觸到200°C左右高溫的催化劑表面，并與之發(fā)生相應(yīng)的化學反應(yīng)，從而產(chǎn)生電信號的改變，以此來發(fā)現(xiàn)被檢測氣體。電化學技術(shù)其成本低、壽命長、結(jié)構(gòu)簡單，可以連續(xù)工作的特點。成本低，結(jié)構(gòu)簡單，壽命長，對CFC等氣體有一定的靈敏度

    2、電擊穿技術(shù)：是從SF6在電力上的典型應(yīng)用——作為絕緣氣體應(yīng)用在GIS開關(guān)柜中演變而來的。其工作原理是根據(jù)SF6氣體絕緣的特性，從置于被檢測空氣中的高壓電極間電壓的變化來判斷空氣中是否含有SF6氣體。因其結(jié)構(gòu)相對簡單，成本低，檢測精度相對高的特點。成本低，結(jié)構(gòu)相對簡單，對SF6氣體檢測具有高靈敏度，有定量分析的可能性

    3、超聲波技術(shù)：采用聲速原理，能夠?qū)崟r、定量測量SF6濃度，哪怕在SF6濃度在50ppm(v/v)也能有效地檢測。不僅可以達到保障人身的目的，而且還能確保設(shè)備正常運行；原裝進口高穩(wěn)定的超聲波傳感器和氧傳感器，可以為現(xiàn)場工作人員提供更多一層可靠保護。于SF6濃度檢測，可靠性高，誤報率低，受環(huán)境因素影響小，不存在頻率漂移的影響，壽命長，反映速度適中。